DUV 深紫外波前传感器

Hartmann - Shack 夏克-哈特曼DUV 深紫外波前传感器/波前分析仪是用于紫外UV和深紫外DUV激光束性能的综合表征，对激光辐射传播行为预测以及光束质量因子M²的确定，从同时记录强度和相位分布等，可以通过菲涅耳-基尔霍夫积分计算沿光束路径的任何位置，特别是焦平面。

许多激光应用不仅需要了解和控制光束的强度分布，而且需要了解其主要由波前决定的传播特性。例如，实时波前监测对于通过**调整所有光束线元来优化光束聚焦至关重要。基于Hartmann哈特曼或Hartmann- shack夏克-哈特曼原理的波前传感器实现了对激光辐射传播行为的预测，以及对相干光源的实时确定，从同时记录的强度和相位分布，可以通过菲涅耳-基尔霍夫积分计算光束沿光束路径的任何位置，特别是焦平面的光束轮廓。

基本原理可以追溯到1900年，其基础是通过针孔阵列（Hartmann）或微透镜阵列（Hartmann- shack）将入射光束分裂成大量的单光束。这些光束中的每一个都在相机探测器上产生一个点，其相对于参考位置的质心定义了局部传播方向。然后通过在传播方向上的积分重建相位分布（波前）。波前的实时泽尼克分析可以**评估光束像差（如精子像差，散光，彗差），的**评估无论是内在性质或由外部光学引起的。此外，通过对所有光斑强度的积分，确定了光束的轮廓。

ProOpto多年来与哥廷根激光实验室（Laser-Laboratorium Gottingen）有着深入的合作，提供基于相机的哈特曼-夏克波前传感器，用于全面表征激光束。根据角分辨率/空间分辨率和波长的不同，可以适配大量微透镜阵列（焦距、透镜直径）以及相机，以实现定制化波前测量。

系统基于微透镜阵列，将入射波分散成大量的次级光波。用相机检测每个独立聚焦点的强度和位置，通过单次测试便能重构光束剖面和波前。

主要功能

        光束传播特性（NIR近红外、VIS可见光、UV紫外光、DUV深紫外、EUV极紫外）

        基于ISO光束参数分析

        M²光束质量因子实时测量

        聚焦性能检测

        光学测试/Zernike分析

                          波前畸变测量

主要特点

        单次测试可获得所有光束参数

        光谱范围: 1100nm~1nm

        动态范围：up to 100λ

        灵敏度：<100pm

        多种规格微透镜阵列和相机可选

        客户方案定制

光束测试软件

测试基于ISO标准