光热吸收测量系统

由于不可避免的残余吸收，在*功率激光系统中使用的任何光学元件都会在光学材料内部受到热应力的影响，从而导致传输的激光辐射出现瞬时波前畸变。这种现象被称为“热透镜效应”，它会导致激光过程的功率相关性不稳定，例如会导致用于激光材料加工的光学器件出现“焦点偏移”等。

夏克-哈特曼波前传感器（如 Shack‑Hartmann）引入光热透镜（PTL）弱吸收测试 / 光热吸收测量系统，灵敏度达sub ppm级！本质是把传统 “单点光强检测” 升级为全场相位成像 + 定量波前畸变解析，核心优势是：灵敏度更*、空间分辨更强、可分离表面 / 体吸收、抗干扰强、动态测量更准。

用于*功率激光器和极深紫外EUV源的光学部件光热吸收测量系统，且性能和参数测量基于ISO国际标准。

别名：弱吸收测量仪，强激光材料性能测试仪，*功率激光薄膜光热弱吸收测量仪，光学薄膜微弱吸收测量仪，光学材料光热效应测量仪，光热吸收测量系统

主要特点

        基于ISO11551标准吸收测量

        基于ISO11254标准激光诱导损伤阈值测量

        波前畸变（透镜加热，挤压）

        透射测量

        反射测量

        基于ISO13696散射测量

        衰减（color centers）

        荧光/发光

               Absorptance: Thermal lens in fused silica @193nm

                   Relaxation of wavefront deformation after heating pulse

光热吸收测量系统可用的辐射源

        *功率准分子激光器

              -351nm、308nm、248nm、193nm、157nm

        固体激光器

              -1064nm、532nm、355nm、266nm（ns and ps 脉冲宽度）

              -1070nm光纤激光（500W cw）

              -可调谐OPO：680~980nm+IR-Idler

        激光诱导EUV/XUV源

              -13nm

              -~4nm

          Two‐dimensional scatter map

                                                  @248nm

Micrographs of laser‐induced damage sites of various laser‐optical materials

光束测试软件

测试基于ISO标准