ppm级 光热弱吸收测试仪

由于不可避免的残余吸收，在*功率激光系统中使用的任何光学元件都会在光学材料内部受到热应力的影响，从而导致传输的激光辐射出现瞬时波前畸变。这种现象被称为“热透镜效应”，它会导致激光过程的功率相关性不稳定，例如会导致用于激光材料加工的光学器件出现“焦点偏移”等。

夏克-哈特曼波前传感器（如 Shack‑Hartmann）引入光热透镜（PTL）弱吸收测试/ppm级 光热弱吸收测试仪 ( EUV / DUV光热吸收测试仪)，灵敏度达sub ppm级！本质是把传统 “单点光强检测” 升级为全场相位成像 + 定量波前畸变解析，核心优势是：灵敏度更*、空间分辨更强、可分离表面 / 体吸收、抗干扰强、动态测量更准。

别名：弱吸收测量仪，光热吸收性能测试仪，*功率激光薄膜光热弱吸收测量仪，光热透镜效应测量仪，光热效应测量仪，EUV / DUV光热吸收测试仪, ppm级 光热弱吸收测试仪

主要特点

        波前畸变（透镜加热，挤压）

        光热吸收测量

        热透镜效应测量

      测量分辨率 <10pm (~ λ/10,000)

        实时吸收测量：<ppm级灵敏度

                  Absorptance: Thermal lens in fused silica @193nm

                Relaxation of wavefront deformation after heating pulse   

测试技术对比：

主要应用：

        光学材料测试

        透镜热吸收性能分析

        复杂光学瞬态畸变（如：F‐Theta平场聚焦镜头）

        质量控制

        *功率激光器（固体激光器、准分子激光器、CO2激光器等）

ppm级 光热弱吸收测试仪可用的辐射源

        *功率准分子激光器（包括EUV和DUV激光器）

              -351nm、308nm、248nm、193nm、157nm

        固体激光器

              -1064nm、532nm、355nm、266nm（ns and ps 脉冲宽度）

              -1070nm光纤激光（500W cw）

              -可调谐OPO：680~980nm+IR-Idler

        激光诱导EUV/XUV源

              -13nm

              -~4nm

测试实例1：Thermal wavefront distortion on mirrors @193nm / 1000Hz

            On Quartz                                                                             On CaF2

             EUV Mirror                                                                        X-Ray Mirror

测试实例2：Focus shift in F-Theta objective@1070nm

测试实例3：Quarz plate + AR coating

       Two‐dimensional scatter map

光束测试软件

测试基于ISO标准